(立式真空泵的工作原理)

在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高中真空泵需要前级泵罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵。

在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出22PECVD设备的基本结构 PECVD设备主要由真空和压力控制系统淀积系统气体及流量控制系统安全保护系统计算机控制等部分组成其设备结构。

1泵总体结构型式 真空泵的泵体的布置结构要求了泵的总体结构立式结构的进排气口水平设置，组装和相连管路都比较便利但泵的焦点较低，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用作小泵卧式泵的进气口在上，排气口在。