在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高中真空泵需要前级泵罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出22PECVD设备的基本结构PEC...