扫描电镜抽真空始终抽不上来

SHUT DON 关机，不泄漏真空，但真空泵停止运转，可以关闭总电源，保持电镜真空腔体处于真空状态RP，Ratary Pump 缩写，是前级泵，叫做旋片式机械真空泵，最高这空度01Pa，一般需要将真空室从大气压抽到10pa 以下一般扫描电镜抽真空时间设计在3分钟以内MP ，Molecular Pump缩写，是二级泵。

因此分辨率高，当前最佳的场发射扫描电镜分辨率实现了亚纳米级别4系统真空度不同及优劣 钨灯丝扫描电镜使用一般的高真空，两级真空泵系统获得0001pa的真空度即可满足，因此造价低场发射扫描电镜使用超高真空，需要三级真空泵必须获得00000001Pa以上的真空度才可以稳定工作原因在于电子枪尖阴极不耐较低。

五真空系统 真空系统确保电子光学系统在真空环境下工作，降低电子与样品间的非弹性碰撞，提高电子的平均自由程，进而提升成像质量真空系统包括真空泵和真空柱两部分六成像原理 扫描电子显微镜利用材料表面微区的差异性，通过电子束作用产生不同亮度差异，形成具有一定衬度的图像成像信号包括二次电子。

真空装置用以保障显微镜内的真空状态，这样电子在其路径上不会被吸收或偏向，由机械真空泵扩散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管道与镜筒相联接透射式电子显微镜因电子束穿透样品后，再用电子透镜成像放大而得名它的光路与光学显微镜相仿，可以直接获得一个样本的投影通过改变物镜的透镜系统人们可以。