SHUTDON关机，不泄漏真空，但真空泵停止运转，可以关闭总电源，保持电镜真空腔体处于真空状态RP，RataryPump缩写，是前级泵，叫做旋片式机械真空泵，最高这空度01Pa，一般需要将真空室从大气压抽到10pa以下一般扫描电镜抽真空时间设计在3分钟以内MP，MolecularPump缩写，是二级泵...