分子真空泵工作原理

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的主动轴通过联轴器与电机联接在传动结构布置上主要有以下两种其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使。

3复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型一气体输送泵包括1液环真空泵水环式真空泵2往复式真空泵3旋片式真空泵4定片式真空泵5滑阀式真空泵6余摆线真空泵7干式真空泵8。

4 罗茨真空泵由一对相互啮合的转子组成，通过转子的旋转来提供真空，适合用于高真空度的情况5 水环式真空泵利用水环作为密封件，通过转子的旋转产生真空，常用于抽吸清洁无腐蚀性气体6 扩散泵依靠高速旋转的转子使气体分子获得动能，然后通过介质的冷却实现真空抽取，适用于超高真空7。

气体分子经过多次碰撞后被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩，最后由前级泵抽走扩散泵主要结构包括泵体冷却帽喷嘴蒸气导流管加热器和冷却器等性能参数包括极限真空最大反压强抽气速率以及设置冷阱或低温挡板等影响油扩散泵性能的因素包括油扩散泵的返流气体分子的。