涡轮分子泵主要由泵体带叶片的转子即动叶轮静叶轮和驱动系统等组成动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度一般为150～400米秒单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成动叶轮和静叶轮交替排列动静叶轮几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反图2为20个动叶。结构特点复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子...