(半导体真空泵原理)

1、真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，可供冶金化工轻工石油医疗制药印染电器电真空半导体食品原子能纺织等科研机关大专院校工矿企业作科研和生产与教学之用；一般是一年换一次，当然也要视使用情况来说；真空泵用于许多工业和科学过程中，包括复合塑料成型过程，大多数类型的电灯，真空管和CRT的生产，在该过程中，该设备可以抽真空或重新填充特定的气体或混合气体半导体加工尤其是离子注入，干法蚀刻和PVDALDPECVD和CVD沉积等。

2、轴流泵和真空泵的工作原理不同，两者是完全不同的泵类轴流泵是一种可以产生高流量低扬程的离心泵，其工作原理是将流体沿着泵轴线方向进行流动，从而产生推力，使流体产生流动轴流泵由叶轮泵壳进出口法兰等部分；有时候工作压强由单独一种真空泵并不能达到此时需要正确地将不同的真空泵组合成为真空机组，以满足工作要求 例如半导体行业真空室体积较大，要求真空室内工作环境清洁无油，抽气时间尽量短以提高工作效率这时抽速为15。

3、干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面1低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中2半导体刻蚀工艺在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒3除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒；爱德华真空泵E2M系列被广泛应用于真空冶金加工，薄膜覆层技术，制药冷冻干燥，冷冻和空调系统抽空干燥和回填，变压器和电缆干燥及浸渍绝缘油处理工厂，灯具制造，低温容器抽空，化工行业中的真空干燥和蒸馏，半导体设备制造，用。

4、隔膜泵离心泵 是指泵的结构，真空泵指泵的用途，它们之间没有可比性离心是物体惯性的表现当雨伞转动时，水滴将脱离雨伞向外缘运动，并被甩出，这就是所谓的离心离心泵就是根据这个原理设计的高速旋转的叶轮叶片。

5、2 润滑油需要定期更换和过滤，增加了维护成本3 不适用于对被抽物质要求高纯度的场合，如半导体光学医疗等领域综上所述，水泵和油泵各有优缺点，选择适合的真空泵时应根据具体的使用需求进行权衡。