单晶炉真空泵跳停处理

罗茨真空泵广泛地应用于单晶炉铸锭炉的配套上，以及镀膜电工冶炼化工陶瓷航空实验室等多种场合的真空镀膜真空干燥真空脱气真空浸渍真空钎焊真空热处理真空浓缩真空反应高空模拟试验等；单晶炉的极限真空是指在单晶生长过程中，炉内所能达到的最高真空度在单晶生长过程中，为了保证单晶品质和晶体纯度，需要将炉内气体压力降低至很低的水平，一般要求在10^6 ~ 10^8 Pa 的范围内这就需要使用真空设备将炉内气体抽出来，以达到所需的真空度然而，在真空设备和单晶炉等各种因素。

罗茨真空泵 广泛地应用于 单晶炉 铸锭炉 的配套上，以及镀膜电工冶炼化工陶瓷航空实验室等多种场合的 真空镀膜 真空干燥 真空脱气 真空浸渍真空钎焊 真空热处理 真空浓缩 真空反应高空模拟试验等；节流阀与真空泵同时关闭时真空泵抽空力度下降很快，但是节流阀反应速度一般是15秒左右，会使真空管道中的氧化物反向吸入炉内，清理不干净时会导致下一炉氧化。

分水器已经水路布置包括分水器，进水水管，若干胶管 水管卡套等；如果掺砷那就有毒了，砒霜啊身体浮肿头发变白脸色发白，甚至中毒死亡直拉单晶硅生产过程中的拆炉流程是在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行的，正常情况下是取出晶体，对炉内的挥发物进行清除，并用酒精擦洗检查热场石墨托碗加热器电极等是否正常，并根据生产炉次对机械真空泵。

可能是炉内气流不畅所导致，开炉门后注意观察炉内是否很脏，炉底排气口十分被堵；直拉单晶硅生产过程中的拆炉流程是在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行的，正常情况下是取出晶体，对炉内的挥发物进行清除，并用酒精擦洗检查热场石墨托碗加热器电极等是否正常，并根据生产炉次对机械真空泵进行清洗换油然后进入下一炉的生产流程装料抽真空化料拉制。

真空泵停用时间过长可能会引起电机负载，则进一步导致暂时性电流过高，这种情况下封闭真空泵进气口运行使泵体加热即可3真空泵电机接在两相电源上，未启用三相电源，可接通真空泵三相电源即可，如果运转十小时左右还出现跳闸脱闸等情况，还是调整过电流上限即可4真空泵吸气口吸入异物或杂质，电机负载；单晶炉出水超温处理方法分为7步1工序复位，由自动改为手动状态2关闭功率，关闭埚转3停止氩气供应，关上手动阀和主真空泵，保证冷却水的供应4快速下降坩埚使液面距离导流筒150毫米5观察是否有大量水蒸气产生6在熔体结晶9分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100毫米7。

单晶炉真空泵停止原因

直拉单晶炉机械结构的工作原理在惰性气体氩气环境中，用石 墨电阻加热器将多晶硅材料溶化，在特定温度区域 内采用软籽晶轴提升旋转机构，对原籽晶进行匀速 旋转提升，于此同时坩埚随着单晶的生长匀速旋转提升，实现生长成无位错单晶硅棒知识点延伸直拉单晶炉是一种在惰性气体氮气氦气为主。

其实没有两全的办法，现在行业内每个厂家都不太一样大部分都是勤换泵油我们用的好像是100目的。

6时刻关注炉内情况及炉体温度，联系各部门做好准备，必要是进行撤离咨询记录 · 回答于20220412 单晶生产掉棒后应急处理方法 亲亲，您好，很高兴由我来为您解答这个问题哦，在生产过程中，如发现液面突然下降硅棒掉落电极报警等现象，应立即反应，确认漏硅后及时处理1关闭真空泵球阀及。

可能装料过程中硅料掉进坩埚轴缝隙引起摩擦，或坩埚轴的螺栓没拧紧，或是氩气流量过大，或工艺方面的问题。

单晶炉过滤罐闪爆措施有关闭所漏部位的水源，关闭阀门及真空泵，对炉内，进行充氩气至005MPa左右，关闭氩气根据查询相关公开信息显示，单晶炉过滤罐包括罐体，罐体上部侧方设置排气口，罐体下部侧方设置进气口，罐体上部侧遍铰接有L型旋转轴，L型旋转轴末端通过螺栓连接上盖，上盖与罐体之间设有密封圈。