(防爆真空泵和普通真空泵的区别)

干式螺杆真空泵特点1工作腔内无任何介质，可获得清洁真空2工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况3气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体4单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化5水温对。

干式真空泵很早就出现了，但没有明确的定义就代替油封式机械泵来说，一般通用的说法是能在大气压到102Pa 的压力范围内工作在泵的抽气流道如泵腔中，不能使用任何油类和液体排气口与大气相通，能连续向大气中排气。

无油干式机械真空泵又简称干式机械泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵目前，真空行业使用的。

1螺杆真空泵的气体通道最短，气体在级间的传送位置不变，有利于气体快速排出泵外和固体颗粒状物体的排出爪式泵由于存在级间隔板，气体通道长且弯曲，气体容易凝结并且易堵塞通道2螺杆真空泵的泵体和转子为单一体。

公司曾先后获授“创新型中小企业”“国家高新技术企业”等资质和荣誉在知识产权方面，淄博干式真空泵有限公司拥有专利信息达到28项此外，淄博干式真空泵有限公司还对外投资了2家企业，直接控制企业1家。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面1低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中2半导体刻蚀工艺在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒3除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒。