涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵分子泵输送气体应满足二个必要条件1 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。
真空泵的负压能力因泵的类型和设计而异，具体如下普通机械真空泵一般能抽到百分之一真空油扩散泵能抽到万分之一或十万分之一真空分子泵和离子泵这些高真空泵能够达到极高的负压，甚至接近绝对真空具体到各类低压真空泵，其负压能力如下水环式真空泵负压范围通常为00Pa，串联。
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