罗茨真空泵的压缩比受到两方面的不利影响1回流到活塞和壳体之间的间隙 2通过活塞表面吸附而沉积在出口侧并在转向吸入侧后又重新解吸的气体在出口压力为 102 至 1 hPa 的情况下,分子流在密封间隙中占主导地位,由于其低电导率,这导致少量回流然而真空泵厂家雅之雷德发现,通过吸附被吸回。
好凯德罗茨真空泵的抽气速率和极限压力是罗茨泵的主要性能参数,但它不是罗茨泵本身特有的性能参数,而是罗茨泵和各种前级泵所组成的机组的性能参数,不是罗茨泵本身特有的性能真正能反映好凯德罗茨真空泵特征性能,而又与前级泵无关的性能参数是零流量压缩比最大允许压差漏率和噪声它们能真实反映。
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