真空泵分子泵的简单介绍

旋片泵结构简单，体积小巧，适用于实验室和小型设备中的真空抽取2离心泵离心泵利用离心力将气体分子抛出容器，常用于高真空和超高真空的抽取离心泵具有高抽速和低背压的特点，适用于半导体制造电子显微镜等领域3分子泵分子泵是一种高真空泵，利用分子撞击原理将气体分子抛出容器分子泵具有极高。

1分子真空泵 它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵这种泵具体可分为1牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口2涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽。

1 牵引分子泵气体分子与高速运动的转子发生碰撞，获得动量，并被驱送到泵的出口2 涡轮分子泵它利用高速旋转的动叶片和静止的定叶片的相互作用来实现抽气过程这种泵通常在分子流状态下工作3 复合分子泵这是一种由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合而成的复合型分子真空泵。

1 真空泵主要分为两大类气体传输泵和气体捕集泵2 气体传输泵包括容积式真空泵和动量传输式真空泵容积式真空泵进一步细分为往复泵旋转式真空泵包括油封泵旋片滑阀泵液环泵罗茨泵螺杆泵爪泵涡旋泵等以及动量传输式真空泵包括分子泵射流泵等，其中分子泵又有涡轮分子泵。