半导体设备真空泵原理

1、真空泵的工作压力应该满足真空设备的极限真空及工作压力要求通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级2BVX2BEX系列真空泵吸气压力范围在33hPa101325hPa之间,在此范围内,气量随吸气压力的不同而变化根据气量和真空度选择合适的泵保证工艺要求的真空度或抽走需要排走的气体泵的工作点。2、真...