1、主泵和前级泵的配合一般是真空机组前级泵可以理解为机械泵本身可以使用，但抽气速率或者真空度满足不了使用要求，这种情况下我们加一个增压泵主泵可以理解为增压泵，用来提高机械泵的真空度跟抽气量像罗茨泵，扩散泵，分子泵等这些本身不能使用压差太大所以需要机械泵预抽，将真空室内抽成；二动量传输泵它依靠高速旋转的叶片或高速射...