1、PECVD设备包含多个关键组成部分真空与压力控制系统淀积系统气体及流量控制安全保护系统与计算机控制设备结构示意图如图2所示真空系统通常配备干泵与分子泵以高效抽气，避免油泵污染基片淀积系统包括射频电源水冷系统与加热装置，核心作用是使气体离子化并加热样品气体流量控制通过质量流量计实现。2、VP泵，全称为Vacuu...