1、例如英国EDWARDS公司的E2M40旋片泵，低真空级端面间隙为006mm，而高真空级端面间隙为0095mm又如日本ULVAC真空技术株式会社的D650K旋片泵低真空级端面间隙为005mm，高真空级端面间隙为008mm这样的间隙安排也符合热膨胀的要求，照一般规律旋片泵在33～4×104Pa时功率最...