无油干式机械真空泵，因其泵腔内无油或其他工作介质而得名，能从大气压力下开始抽气，并能将被抽气体直接排到大气中去，其极限压力与油封式真空泵相当这类泵在真空行业应用广泛，因其没有返流污染被抽容器的风险，也不易因介质变质而影响泵的正常工作，因此备受青睐在低压化学气相沉积工艺中。无油爪式真空泵是一种机械真空泵，其优势如下...