主泵在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵前级泵用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵粗抽泵从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后3...