生产效率等针对各大专院校企业及科研单位，对光刻机使用特性研发的一种高精度光刻机，中小规模集成电路半导体元器件光电子器件声表面波器件的研制和生产高精度对准工作台双目分离视场CCD显微显示系统曝光头气动系统真空管路系统直联式无油真空泵防震工作台和附件箱等组成；芯片原材料主要是硅，制造芯片还需要一种重要的材料就是金属电路...